晶圆在工艺腔室内的定位至关重要。要在每次操作中将晶圆准确放置于腔室内的同一位置，需要对工艺设备中的所有机械系统实施严格控制，涵盖将晶圆输送至腔室的大气机械手和真空机械手，以及在工艺过程中定位晶圆的顶针升降系统。
我们的机电一体化专家深入参与价值链各环节，提供满足客户关键产品要求的解决方案，包括：
- 确保建模完整性并分析设计意图，确保所提供文档的准确性；
- 开展系统级公差分析，确保集成结果和系统性能保持一致且可预测；
- 依托稳健的供应链，以较短交期采购关键材料；
- 对设备设计进行验证，确保最终系统满足全部运行要求，包括：
- 机器人控制器
- 适用于湿式及干式大气环境的机械手
- 轨道系统
- 预对准器
- 高精度线性执行器组件
