气体与化学品输送

我们为半导体行业提供一站式气体输送解决方案，覆盖从初始设计到最终交付给您的客户的全过程。我们也为平板显示和太阳能应用提供特种气体与化学品的精确输送、管理和控制。

作为行业首家交钥匙气体输送系统制造商，我们在支持客户实施外包策略方面处于领先地位，并擅长满足晶圆制造设备高度可配置的要求。

此外，我们在超高纯（UHP）轨道焊接和手工焊接领域处于全球领先地位。我们的焊接专业人员经过严格培训并取得资质认证，采用最新工艺和技术，确保每一道焊缝的质量。我们的能力覆盖小口径至大口径管件加工、轨道焊接、手工焊接和精密弯管。通过将机器人焊接与手工技艺相结合，我们已将高纯及轨道焊接工艺发展为稳定可靠的制造技术。

最终组装在 Class 100 和 Class 1000 洁净室内完成。结合先进的检测方法，我们的专业技术人员确保客户的气体输送系统满足当今先进工艺对洁净度的严格要求。

为支持先进半导体所采用的高精度复杂薄膜工艺，工艺设备的气体输送系统需要具备复杂且高度可配置的子系统。要实现可靠、可重复的晶圆工艺表现，不仅需要了解气体面板的制造步骤，还需要全面掌握组件的性能要求，以及组件与设备和工艺腔室之间的无缝集成要求。

UCT 在多个地区设有生产设施，能够支持您在全球范围内的制造需求。

晶圆厂的高效运行需要完善的气体分配基础设施，以稳定、可靠地将工艺化学品输送至工艺设备，并将腔室副产物安全、有效地输送至中和及尾气处理环节。无论是阀组、气柜、接口板、尾气处理系统、气体泄漏检测系统，还是用于连接各系统的焊接组件，UCT 在气体输送与分配方面的丰富经验都能为您提供有效的解决方案。

二十多年来，我们位于捷克利贝雷茨和英国剑桥的工厂一直专注于塑料化学品输送系统的生产。我们持续可靠地输送液态化学品和前驱体，精确满足晶圆厂及设备的各项要求。我们的专业焊接人员采用先进生产工艺，制造客户所需的小型子系统、大型全塑料柜体和排风管道。

我们的焊接专业人员熟练处理各种塑料，包括 PP、PVC、CPVC、PVDF、PFA，以及其他获 FM 4910 认可的材料。通过红外焊接、热气焊接等先进工艺，我们确保化学品输送系统的完整性。我们的焊接工艺已通过 CSN 05 0705（050705）认证。焊接组件采用氦气加压检漏和电气渗透检测（电火花检测）进行泄漏测试。加工完成的零部件还需接受数字化三维尺寸检测，以确保尺寸准确。

我们的熟练制造团队将焊接组件与所需的高纯 PFA 管材及精密弯制的 PFA 管路进行集成。最终集成在 Class 10,000／ISO 7 洁净室内完成，确保交付的化学品输送系统模块及子系统保持洁净，并可直接安装。